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靶材的分類及其常見缺陷

2017/11/29 15:24:10 來源:

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  2.2靶材性能與要求

  靶材質量直接影響著薄膜的物理、外觀、力學等性能,因而對靶材質量的評判較為嚴格,主要應滿足以下要求:雜質及氧含量低、純度高;致密度高;成分與結構均勻;晶粒尺寸細小。

  2.3劣質靶材缺點

  a)為熔煉鉻靶燒蝕后靶面情況

  b)靶面有凹痕為引弧針安裝不當導致的

  c)水晶鍍膜靶材密度不夠,燒蝕后區(qū)別

  d)等離子噴涂氧化鈦旋轉管靶不良

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