2.2靶材性能與要求

　　靶材質(zhì)量直接影響著薄膜的物理、外觀、力學(xué)等性能，因而對靶材質(zhì)量的評判較為嚴(yán)格，主要應(yīng)滿足以下要求：雜質(zhì)及氧含量低、純度高；致密度高；成分與結(jié)構(gòu)均勻；晶粒尺寸細(xì)小。

　　2.3劣質(zhì)靶材缺點

　　a)為熔煉鉻靶燒蝕后靶面情況

　　b)靶面有凹痕為引弧針安裝不當(dāng)導(dǎo)致的

　　c)水晶鍍膜靶材密度不夠，燒蝕后區(qū)別

　　d)等離子噴涂氧化鈦旋轉(zhuǎn)管靶不良