【中玻網(wǎng)】石英玻璃在半導(dǎo)體中的應(yīng)用

　　石英玻璃憑借其高純度、耐高溫、低熱膨脹性、化學(xué)穩(wěn)定性強等優(yōu)良性能，在半導(dǎo)體芯片制造加工中被廣泛應(yīng)用。半導(dǎo)體石英產(chǎn)品種類繁多，主要用于硅片制造環(huán)節(jié)的拉制單晶的石英坩堝、多個晶圓制造的核心環(huán)節(jié)的硅片承載器具（擴散、氧化環(huán)節(jié)的擴散管、舟、支架等；刻蝕環(huán)節(jié)的石英環(huán)等；清洗環(huán)節(jié)的石英玻璃花籃、清洗槽等）以及光刻環(huán)節(jié)使用的光掩膜版的基板材料。

　　半導(dǎo)體用石英玻璃的市場規(guī)模

　　半導(dǎo)體是石英玻璃主要的下游應(yīng)用領(lǐng)域之一，需求空間百億量級：

　　半導(dǎo)體是石英玻璃主要的下游應(yīng)用領(lǐng)域，需求空間百億量級。根據(jù)石英玻璃協(xié)會報告，2014年大部分國家石英玻璃市場規(guī)模超過200億元金額，其中半導(dǎo)體是石英玻璃主要的下游應(yīng)用，市場占比超過60%，其中半導(dǎo)體石英坩堝、前端工序石英器件、光掩膜基板市場空間分別約40億、60億、45億元金額。根據(jù)其他口徑測算，2017年大部分國家半導(dǎo)體級石英材料市場規(guī)模在20億美元以上，半導(dǎo)體石英器件規(guī)模約13億美元（分為高溫區(qū)器件、低溫區(qū)器件，規(guī)模大致相當(dāng)），光掩膜版基板材料市場規(guī)模約10億美元（包含部分蘇打玻璃，石英玻璃占比處于提升趨勢）。

　　半導(dǎo)體是石英玻璃主要的下游應(yīng)用領(lǐng)域之一，需求空間接近100億量級。

　　根據(jù)石英行業(yè)協(xié)會報告，2013年整個半導(dǎo)體石英器件規(guī)模約10億美元，而根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，2017年半導(dǎo)體晶圓設(shè)備銷售額、硅片出貨量均相比2013年增長了30%，簡單按同比例測算，當(dāng)前半導(dǎo)體石英器件的市場規(guī)模約為13億美元，已接近百億金額量級。

　　目前，大部分國家高等石英玻璃市場（尤其是以半導(dǎo)體、光通訊為主的電子級石英玻璃市場），主要還是由賀利氏、邁圖、東曹、昆希等海外龍頭企業(yè)掌握，石英材料的國產(chǎn)化比例較低。

　　關(guān)鍵點在于，半導(dǎo)體石英材料的認(rèn)證壁壘較高，具有資質(zhì)認(rèn)證優(yōu)勢的外資廠商往往占據(jù)著高等市場的絕大份額。

　　產(chǎn)業(yè)鏈的梳理

　　從材料到器件加工，客戶從半導(dǎo)體設(shè)備商到芯片制造商。半導(dǎo)體石英玻璃領(lǐng)域的企業(yè)主要分為上游的石英玻璃材料廠商（菲利華、石英股份等）和下游的石英器件加工商（杭州大和、凱德石英等）；石英器件加工廠商將采購的石英玻璃材料通過機加工或者熱加工制成各類半導(dǎo)體石英器件銷售給半導(dǎo)體設(shè)備廠商，再由設(shè)備廠商將包含石英器件的整套設(shè)備銷售給芯片制造商；器件加工商也會將產(chǎn)品直接銷售給芯片制造商（器件損耗需要在一定周期內(nèi)更換）。

　　①菲利華，2011年上半年通過東京電子的材料認(rèn)證，成為國內(nèi)一家通過原廠設(shè)備認(rèn)證的石英玻璃材料企業(yè)，大部分國家目前共有5家企業(yè)通過該認(rèn)證；公司是國內(nèi)石英玻璃行業(yè)龍頭，在半導(dǎo)體、光通信、航天航空等領(lǐng)域技術(shù)優(yōu)勢明顯：1）在半導(dǎo)體領(lǐng)域，公司是國內(nèi)獲得主要半導(dǎo)體設(shè)備商（東京電子、應(yīng)材、Lam）認(rèn)證的石英材料供應(yīng)商；2）在航天航空領(lǐng)域，公司是大部分國家少數(shù)具有石英纖維量產(chǎn)能力的制造商之一，具有軍方供貨資質(zhì)；3）在光通信領(lǐng)域，公司可提供絕大部分石英玻璃輔材器件。

　?、谑⒐煞荩鄠€半導(dǎo)體級產(chǎn)品正在進行東京電子認(rèn)證，國內(nèi)優(yōu)異的半導(dǎo)體器件加工商凱德石英目前也正在推進東電認(rèn)證，目前進展順利。

　　半導(dǎo)體設(shè)備、芯片環(huán)節(jié)均增長明顯，拉動半導(dǎo)體石英需求高景氣：隨著大部分國家半導(dǎo)體市場進入增長周期，并迎來新一輪投入資金高峰，設(shè)備、芯片環(huán)節(jié)的高增長拉動半導(dǎo)體石英需求迎來高景氣。預(yù)計到2020年，半導(dǎo)體石英材料仍有望維持20%以上的年復(fù)合增長率。

　　此外，國內(nèi)石英玻璃公司2017年的電子級產(chǎn)品的收入也確實迎來了高速增長，并在積較擴產(chǎn)，2018年銷售額仍將處于快速增長通道，這也為石英砂生產(chǎn)廠家?guī)泶髾C會。