屏幕尺寸：10英寸觸摸屏

真 空 度：低至10Pa優(yōu)良真空

精度：0.25級

檢測孔徑精度：5 μm （可選1 μm、3 μm）

測試腔：尺寸、種類根據(jù)試樣特殊定制

測試系統(tǒng)：雙傳感器技術

外形尺寸：470 mm (L) × 360 mm (B) × 300 mm (H)

電源：AC 220 V 50 Hz