PSG 磷硅玻璃去除設備 1、設備主要應用于去除爐管制程中產(chǎn)生的磷硅玻璃 2、高產(chǎn)能及低破片率， 提供單晶硅片表面臟污及磷硅玻璃清洗處理 3、采用特殊干燥系統(tǒng)設備，有效降低產(chǎn)品破片率 4、全自動補液技術 5、雙伺服機械手傳送系統(tǒng)，自動上／下料工位，排水/進水系統(tǒng)實現(xiàn)全自動化，搭配觸控式屏幕，提供操作簡便的功能性 6、***行走機械臂，運行平穩(wěn)。全自動控制行程模式，優(yōu)良的制程調(diào)控能力，穩(wěn)定的高產(chǎn)出率及低破片率，適用于批量生產(chǎn)線。